Автор туралы ақпарат
Пивоваренок, С. А.
Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
Том 52, № 1 (2023) | ДИАГНОСТИКА | Controlling Silicon Etching Parameters in RF CHF3 Plasma by Optical Emission Spectroscopy | |
Том 52, № 1 (2023) | ДИАГНОСТИКА | Электрофизические характеристики и эмиссионные спектры плазмы тетрафторметана |