Информация об авторе
Кузьменко, В. О.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 53, № 1 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Параметры и состав плазмы в смеси CF4 + H2 + Ar: эффект соотношения CF4/H2 | |
| Том 53, № 6 (2024) | ДИАГНОСТИКА | Состав газовой фазы и кинетика атомов фтора в плазме SF6 |