Поиск

Выпуск
Название
Авторы
Том 52, № 3 (2023)
Плазма водорода в условиях электрон-циклотронного резонанса в технологии микроэлектроники
Полушкин Е.А., Нефедьев С.В., Ковальчук А.В., Солтанович О.А., Шаповал С.Ю.
PDF
(Rus)
Том 53, № 1 (2024)
Параметры и состав плазмы в смеси CF4 + H2 + Ar: эффект соотношения CF4/H2
Мяконьких А.В., Кузьменко В.О., Ефремов А.М., Руденко К.В.
PDF
(Rus)
1 - 2 из 2 результатов
Подсказки:
  • Ключевые слова чувствительны к регистру
  • Английские предлоги и союзы игнорируются
  • По умолчанию поиск проводится по всем ключевым словам (агенс AND экспериенцер)
  • Используйте OR для поиска того или иного термина, напр. образование OR обучение
  • Используйте скобки для создания сложных фраз, напр. архив ((журналов OR конференций) NOT диссертаций)
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки, напр. "научные исследования"
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или оператора NOT; напр. конкурс -красоты или же конкурс NOT красоты
  • Используйте * в качестве версификатора, напр. научн* охватит слова "научный", "научные" и т.д.