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Study of SiO2 films obtained by PECVD and doped with Zn
Privezentsev V., Firsov A., Kulikauskas V., Zatekin V., Kirilenko E., Goryachev A.
Investigation of Intercalation and De-Intercalation of Lithium Ions in Thin-Film Lithium-Ion Battery by Rutherford Backscattering Spectrometry
Kurbatov S., Melesov N., Parshin E., Rudy A., Mironenko A., Naumov V., Skundin A., Bachurin V.
Features of the formation of layers on the surface of valve metals in the process of ion beam assisted deposition of metals from vacuum arc discharge plasma
Poplavsky V., Babrovich A., Dorozhko A., Matys V.
Study of SiO2 films implanted with 64Zn+ ions and oxidized at elevated temperatures
Privezentsev V., Sergeev A., Firsov A., Kulikauskas V., Zatekin V., Kirilenko E., Goryachev A., Kovalskiy V.
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